氮化鎵磊晶層上化學濕式蝕刻反應行為之研究
學年 107
學期 1
計畫案開始日期 2018-08-01
計畫案結束日期 2019-07-31
計畫主持人姓名 許世杰
共同主持人姓名一
共同主持人姓名二
共同主持人姓名三
計畫中文名稱 氮化鎵磊晶層上化學濕式蝕刻反應行為之研究