以脈衝式電化學拋光技術進行銅鑲崁結構平坦化與其機制研究
學年 96
學期 1
計畫案開始日期 2007-08-01
計畫案結束日期 2008-07-31
計畫主持人姓名 蔡子萱
共同主持人姓名一
共同主持人姓名二
共同主持人姓名三
計畫中文名稱 以脈衝式電化學拋光技術進行銅鑲崁結構平坦化與其機制研究