矽晶圓精密背磨技術之研發及其加工表面性狀分析
學年 93
學期 1
計畫案開始日期 2004-08-01
計畫案結束日期 2005-07-31
計畫主持人姓名 趙崇禮
共同主持人姓名一 馬廣仁、
共同主持人姓名二
共同主持人姓名三
計畫中文名稱 矽晶圓精密背磨技術之研發及其加工表面性狀分析