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研發處: 研究計畫 (非國科會)
李明憲 LEE, MING-HSIEN
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Oxygen Transport Mechanism in High-k Metel Gate System
學年
97
學期
2
計畫案開始日期
2009-05-01
計畫案結束日期
2010-04-30
委託(補助)機構名稱
臺灣積體電路製造股份有限公司
計畫主持人姓名
李明憲
共同主持人姓名一
共同主持人姓名二
共同主持人姓名三
計畫中文名稱
Oxygen Transport Mechanism in High-k Metel Gate System