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研發處: 研究計畫 (非國科會)
吳容銘 WU JUNG-MING
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結合模擬與實驗的水旋風分離器串連技術應用於處理矽晶圓切削中Glycol、Si、細SiC與粗SiC的分離
學年
99
學期
2
計畫案開始日期
2011-04-01
計畫案結束日期
2012-03-31
委託(補助)機構名稱
中美矽晶製品股份有限公司
計畫主持人姓名
吳容銘
共同主持人姓名一
共同主持人姓名二
共同主持人姓名三
計畫中文名稱
結合模擬與實驗的水旋風分離器串連技術應用於處理矽晶圓切削中Glycol、Si、細SiC與粗SiC的分離