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研發處: 研究計畫 (非國科會)
趙崇禮 CHAO CHOUNG-LII
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電子束微影用超鏡面滾筒胚料製作
學年
96
學期
2
計畫案開始日期
2008-04-01
計畫案結束日期
2008-06-25
委託(補助)機構名稱
財團法人工業技術研究院
計畫主持人姓名
趙崇禮
共同主持人姓名一
共同主持人姓名二
共同主持人姓名三
計畫中文名稱
電子束微影用超鏡面滾筒胚料製作