電子束微影用超鏡面滾筒胚料
學年 95
學期 2
計畫案開始日期 2007-06-01
計畫案結束日期 2007-08-31
委託（補助）機構名稱 工業技術研究院
計畫主持人姓名 趙崇禮
共同主持人姓名一
共同主持人姓名二
共同主持人姓名三
計畫中文名稱 電子束微影用超鏡面滾筒胚料