Development of Vacuum-Chamber-Type Capacitive Micro-Pressure Sensors
學年 114
學期 1
出版（發表）日期 2025-11-18
作品名稱 Development of Vacuum-Chamber-Type Capacitive Micro-Pressure Sensors
作品名稱（其他語言）
著者 Lung-Jieh Yang , De-Yu Jiang , Wei-Chen Wang , Chandrashekhar Tasupalli , Horng-Yuan Shih and Yi-Jen Wang
單位
出版者
著錄名稱、卷期、頁數 Micromachines
摘要
關鍵字
語言 en_US
ISSN
期刊性質 國外
收錄於
產學合作
通訊作者
審稿制度 0
國別 CHE
公開徵稿
出版型式 ,電子版