Optical touch trigger probing sensor for micro CMMs | |
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學年 | 100 |
學期 | 2 |
發表日期 | 2012-07-02 |
作品名稱 | Optical touch trigger probing sensor for micro CMMs |
作品名稱(其他語言) | |
著者 | C.C. Wu; C.C. Hsu; J.Y. Lee; W.T. Chiu |
作品所屬單位 | |
出版者 | |
會議名稱 | International Conference on Optics-Photonics Design and Fabrication |
會議地點 | St. Peterburg in Russia |
摘要 | The optical touch trigger probing sensor integrates the fiber Bragg grating technology and the optical interferometry. Experimental results demonstrate the proposed sensor is with high resolution and isotropic pretravel of 23 nm. |
關鍵字 | Optical Touch Trigger Probing Sensor for Micro CMMs |
語言 | en |
收錄於 | |
會議性質 | 國際 |
校內研討會地點 | 無 |
研討會時間 | 20120702~20120705 |
通訊作者 | C.C. Wu |
國別 | RUS |
公開徵稿 | |
出版型式 | |
出處 | Proceedings of 2012 International Conference on Optics-Photonics Design and Fabrication |
相關連結 |
機構典藏連結 ( http://tkuir.lib.tku.edu.tw:8080/dspace/handle/987654321/116277 ) |
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