Optical touch trigger probing sensor for micro CMMs
學年 100
學期 2
發表日期 2012-07-02
作品名稱 Optical touch trigger probing sensor for micro CMMs
作品名稱(其他語言)
著者 C.C. Wu; C.C. Hsu; J.Y. Lee; W.T. Chiu
作品所屬單位
出版者
會議名稱 International Conference on Optics-Photonics Design and Fabrication
會議地點 St. Peterburg in Russia
摘要 The optical touch trigger probing sensor integrates the fiber Bragg grating technology and the optical interferometry. Experimental results demonstrate the proposed sensor is with high resolution and isotropic pretravel of 23 nm.
關鍵字 Optical Touch Trigger Probing Sensor for Micro CMMs
語言 en
收錄於
會議性質 國際
校內研討會地點
研討會時間 20120702~20120705
通訊作者 C.C. Wu
國別 RUS
公開徵稿
出版型式
出處 Proceedings of 2012 International Conference on Optics-Photonics Design and Fabrication
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機構典藏連結 ( http://tkuir.lib.tku.edu.tw:8080/dspace/handle/987654321/116277 )

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