教師資料查詢 | 類別: 會議論文 | 教師: 吳乾埼 WU, CHYAN-CHYI (瀏覽個人網頁)

標題:Subnanometer displacement measurement using common-path grating interferometry
學年
學期
發表日期2008/09/08
作品名稱Subnanometer displacement measurement using common-path grating interferometry
作品名稱(其他語言)
著者C.C. Wu; C.C. Hsu; C.J. Chen
作品所屬單位
出版者
會議名稱International Conference of Precision Measurement
會議地點Amsterdam
摘要
關鍵字heterodyne interferometry;grating interferometer;common-path;lock-in amplifier
語言英文
收錄於
會議性質國際
校內研討會地點
研討會時間20080908~20080912
通訊作者
國別荷蘭
公開徵稿
出版型式
出處Proceedings of ICPM 2008
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SDGs
  • 優質教育,尊嚴就業與經濟發展,產業創新與基礎設施
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