Subnanometer displacement measurement using common-path grating interferometry
學年 97
學期 1
發表日期 2008-09-08
作品名稱 Subnanometer displacement measurement using common-path grating interferometry
作品名稱（其他語言）
著者 C.C. Wu; C.C. Hsu; C.J. Chen
作品所屬單位
出版者
會議名稱 International Conference of Precision Measurement
會議地點 Amsterdam
摘要
關鍵字 heterodyne interferometry;grating interferometer;common-path;lock-in amplifier
語言 en
收錄於
會議性質 國際
校內研討會地點 無
研討會時間 20080908~20080912
通訊作者
國別 NLD
公開徵稿
出版型式
出處 Proceedings of ICPM 2008
相關連結

機構典藏連結 ( http://tkuir.lib.tku.edu.tw:8080/dspace/handle/987654321/116281 )

SDGS 優質教育,尊嚴就業與經濟發展,產業創新與基礎設施