面內位移雷射光學尺之光柵尺無縫製程與共路徑光學讀頭技術
學年 102
學期 1
出版(發表)日期 2013-08-01
作品名稱 面內位移雷射光學尺之光柵尺無縫製程與共路徑光學讀頭技術
作品名稱(其他語言) Seamless Process of Grating Scale and Common-Path Optical Read-Head Techniques in Laser Encoder for In-Plane Displacement
著者 吳乾埼
單位 淡江大學機械與機電工程學系
描述 計畫編號:NSC102-2221-E032-012-MY3
 研究期間:201308~201407
 研究經費:1,118,000
委託單位 行政院國家科學委員會
摘要
關鍵字
語言 zh_TW
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