繞射光學元件、繞射光學元件陣列,及其製作方法
學年 102
學期 2
專利開始日期 2014-03-01
專利結束日期 2014-03-01
作品名稱 繞射光學元件、繞射光學元件陣列,及其製作方法
作品名稱(其他語言) DIFFRACTIVE OPTICAL ELEMENTS, DIFFRACTIVE OPTICAL ELEMENTS ARRAY AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
著者 趙崇禮; 馬廣仁; 周文成
單位 淡江大學機械與機電工程學系
著錄名稱、卷期、頁數
描述 專利類型:發明
 專利國別:中華民國
 專利公開/公告號:201102682/I431334
 專利申請號:098123300
 國際分類號:G02B-005/18(2006.01)
摘要 本發明提供一種繞射光學元件及繞射光學元件陣列的製作方法,以及經由上述方法所製作之繞射光學元件及元件陣列。繞射光學元件的製作方法,包括提供基材,基材具有第一硬度與第一厚度,並於基材上形成光阻層,光阻層具有均勻的第一高度,接著提供表面形成有繞射光學元件公圖案的模具,在公圖案的外部周圍形成有複數個支腳,之後以模具對光阻層進行壓印,藉此在光阻層的表面形成對應於該公圖案的母圖案,接著硬化光阻層然後移除模具,再蝕刻光阻層與基材,藉此形成繞射光學元件的公圖案於基材的上表面。
關鍵字
語言 zh_TW
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