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標題:微米圓球之光子奈米噴流的數值分析與實驗量測
學年
學期
發表日期2013/08/22
作品名稱微米圓球之光子奈米噴流的數值分析與實驗量測
作品名稱(其他語言)
著者劉承揚; 王永勛
作品所屬單位淡江大學機械與機電工程學系
出版者
會議名稱第十七屆奈米工程暨微系統技術研討會
會議地點臺中市, 臺灣
摘要本文主要研究探討微米圓球的光子奈米噴流現象。在理論方面,我們使用時域有限差分法來模擬奈米圓球的光子奈米噴流之光場分佈和光場強度的增益效果,並分析影響光子奈米噴流形成的參數。在實驗方面,我們自行設計和架設一套低照度的光學顯微鏡系統來量測由微米圓球所發出的背向散射光和光子奈米噴流的光場分佈,並與數值計算結果相互比對。在遠場光學系統中,若想要突破繞射極限而得到奈米級的影像則必須有效的收集和恢復消散波的光學資訊,本文的研究結果將有助於解決高科技產業中奈米等級的影像量測問題,例如線寬、微粒、光柵、甚至複雜幾何圖案之量測。
關鍵字光子奈米噴流;微米圓球;繞射極限
語言中文
收錄於
會議性質國內
校內研討會地點
研討會時間20130822~20130823
通訊作者劉承揚
國別中華民國
公開徵稿Y
出版型式紙本
出處第十七屆奈米工程暨微系統技術研討會
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