| 智慧型微冷卻系統之感測與驅動技術開發(III) | |
|---|---|
| 學年 | 95 |
| 學期 | 1 |
| 發表日期 | 2006-10-27 |
| 作品名稱 | 智慧型微冷卻系統之感測與驅動技術開發(III) |
| 作品名稱（其他語言） | |
| 著者 | 楊龍杰; 王信雄; 許竣為; 楊伯強 |
| 作品所屬單位 | 淡江大學機械與機電工程學系 |
| 出版者 | |
| 會議名稱 | 2006熱流暨能源學門成果發表暨規劃會議 |
| 會議地點 | 臺北市, 臺灣 |
| 摘要 | 本第三年計畫先完成CMOS共用壓力感測陣列晶片之測試，再嘗試開發非平面(如微圓管)之微管道感測與驅動電極之製程，改善微流道感測驅動的效率。另外研究在微流道內表面沾濕特性之控制，確認與表面特性相關之處理技術，在微冷卻系統內之液體驅動課題上變得重要。最後將本三年期開發之微機電感測與驅動技術，應用於一增益迴路式微熱管的導熱性能。 The main object of this project (the third year) is to explore a CMOS pressure-sensing platform, the process of a novel nonplanar electrode embedded in a circular microchannel, the detailed mechanism of a EHD micropump. We also applied all the available MEMS techniques, explores in this project, to propose a modified design for a MLHP for performance enhancing. |
| 關鍵字 | 金氧半標準製程;非平面電極;電動流力驅動;迴路式微熱管;CMOS;Nonplanar electrode;EHD pumping;MLHP |
| 語言 | zh_TW |
| 收錄於 | |
| 會議性質 | 國內 |
| 校內研討會地點 | |
| 研討會時間 | 20061027~20061027 |
| 通訊作者 | |
| 國別 | TWN |
| 公開徵稿 | Y |
| 出版型式 | 紙本 |
| 出處 | 2006熱流暨能源學門成果發表暨規劃會議論文集，4頁 |
| 相關連結 |
機構典藏連結 ( http://tkuir.lib.tku.edu.tw:8080/dspace/handle/987654321/96497 ) |
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