| III-V 半導體切割技術探討 | |
|---|---|
| 學年 | 92 |
| 學期 | 1 |
| 出版（發表）日期 | 2003-09-01 |
| 作品名稱 | III-V 半導體切割技術探討 |
| 作品名稱（其他語言） | |
| 著者 | 陳孟群 ; 陳貴榮 ; 趙崇禮 ; 賴志一 ; 陳志明 ; 譚子陵 ; 江銘通 |
| 單位 | 淡江大學機械與機電工程學系 |
| 出版者 | 新竹縣：工業技術研究院機械與系統研究所 |
| 著錄名稱、卷期、頁數 | 機械工業=Journal of the Mechatronic Industry 246，頁205-222 |
| 摘要 | |
| 關鍵字 | 劃線裂片;尖點劃線;砷化鎵;精密定位 Scribe/Break;Sharp pointed scribe;GaAs;Gallium arsenide;Precision positioning |
| 語言 | zh_TW |
| ISSN | 0255-0075 |
| 期刊性質 | 國內 |
| 收錄於 | |
| 產學合作 | |
| 通訊作者 | |
| 審稿制度 | |
| 國別 | TWN |
| 公開徵稿 | |
| 出版型式 | 紙本 |
| 相關連結 |
機構典藏連結 ( http://tkuir.lib.tku.edu.tw:8080/dspace/handle/987654321/65319 ) |
| SDGS | 產業創新與基礎設施 |
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