A novel method to fabricate nanoimprinting stamps by photomelting and etching
學年 93
學期 1
發表日期 2004-11-03
作品名稱 A novel method to fabricate nanoimprinting stamps by photomelting and etching
作品名稱(其他語言)
著者 林清彬
作品所屬單位 淡江大學機械與機電工程學系
出版者 KAIST, Daejeon, Korea
會議名稱
會議地點
摘要
關鍵字
語言
收錄於
會議性質 國際
校內研討會地點
研討會時間 20041103~20041105
通訊作者
國別
公開徵稿
出版型式
出處 The 2nd International Symposium on Nanomanufacturing Conference
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機構典藏連結 ( http://tkuir.lib.tku.edu.tw:8080/dspace/handle/987654321/70879 )

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