Out-of-plane ellipsometry measurements of nanoparticles on surfaces for thin film coated wafer inspection | |
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學年 | 100 |
學期 | 1 |
申請日期 | 2011-08-01 |
得獎人員 | 劉承揚 CHENG-YANG LIU |
得獎論文名稱 | Out-of-plane ellipsometry measurements of nanoparticles on surfaces for thin film coated wafer inspection |
得獎等級 | 0 |
所屬類別 | 0 |
出版者 | Optics and Laser Technology |
研究獎勵類別 | 5 |
備註 | |
發表日期 | 2010-09-01 |