Out-of-plane ellipsometry measurements of nanoparticles on surfaces for thin film coated wafer inspection
學年 100
學期 1
申請日期 2011-08-01
得獎人員 劉承揚 CHENG-YANG LIU
得獎論文名稱 Out-of-plane ellipsometry measurements of nanoparticles on surfaces for thin film coated wafer inspection
得獎等級 0
所屬類別 0
出版者 Optics and Laser Technology
研究獎勵類別 5
備註
發表日期 2010-09-01