Formation of SiGe Nanorod Arrays by Combining Nanoshpere Lithography and Au-assisted Chemical Etching
學年 99
學期 2
發表日期 2011-06-21
作品名稱 Formation of SiGe Nanorod Arrays by Combining Nanoshpere Lithography and Au-assisted Chemical Etching
作品名稱(其他語言)
著者 Lai, C. H.; Lee, Y. J.; 葉炳宏; Yeh, P. H.; Lee, S. W.
作品所屬單位 淡江大學物理學系
出版者 IEEE Electron Devices Society
會議名稱
會議地點
摘要
關鍵字
語言 en
收錄於
會議性質 國際
校內研討會地點
研討會時間 20110621~20110624
通訊作者
國別
公開徵稿
出版型式
出處 2011 IEEE 4th International Nanoelectronics Conference(INEC), Tao-Yuan, Taiwan
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機構典藏連結 ( http://tkuir.lib.tku.edu.tw:8080/dspace/handle/987654321/74861 )

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