Substrate current enhancement in 65 nm metal-oxide-silicon field-effect transistor under external mechanical stress
學年 97
學期 1
出版(發表)日期 2009-01-01
作品名稱 Substrate current enhancement in 65 nm metal-oxide-silicon field-effect transistor under external mechanical stress
作品名稱(其他語言)
著者 Kuo, Y. J.; Chang, T. C.; 葉炳宏; Yeh, P. H.;Chen, S. C.; Dai, C. H.; Chao, C. H.; Young, T. F.; Cheng, Osbert; Huan, C. T.
單位 淡江大學物理學系
出版者 Elsevier
著錄名稱、卷期、頁數 Thin Solid Films 515(5), pp.1715–1718
摘要
關鍵字 Strained silicon;Uniaxial stress;MOSFETs;Impact ionization;Substrate current
語言 en
ISSN 0040-6090
期刊性質 國外
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產學合作
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