Wet Etching Mechanisms of ITO Films in Oxalic acid
學年 94
學期 2
出版（發表）日期 2006-06-01
作品名稱 Wet Etching Mechanisms of ITO Films in Oxalic acid
作品名稱（其他語言）
著者 Tsai, Tzu-hsuan; Wu, Y. F.
單位 淡江大學化學工程與材料工程學系
出版者
著錄名稱、卷期、頁數 Microelectronic Engineering 83, pp.536-541
摘要
關鍵字
語言 en
ISSN
期刊性質 國外
收錄於 SCI SSCI EI
產學合作
通訊作者
審稿制度 否
國別 NLD
公開徵稿
出版型式 ,電子版
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