Localized Corrosion Effects and Modifications of Acidic and Alkaline Slurries on Copper Chemical Mechanical Polishing
學年 91
學期 2
出版（發表）日期 2003-04-15
作品名稱 Localized Corrosion Effects and Modifications of Acidic and Alkaline Slurries on Copper Chemical Mechanical Polishing
作品名稱（其他語言）
著者 Tsai, Tzu-hsuan; Yen, Shi-chern
單位 淡江大學化學工程與材料工程學系
出版者
著錄名稱、卷期、頁數 Applied Surface Science 210(3-4), pp.190-205
摘要
關鍵字 Chemical mechanical polishing; Copper; Pitting corrosion; Alumina slurry; Potentiodynamic curve; Surface roughness
語言 en
ISSN 0169-4332
期刊性質 國外
收錄於 SCI SSCI EI
產學合作
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