Electrochemical Planarization of Copper-Plated Wafer in Phosphoric Acid
學年 95
學期 2
發表日期 2007-05-11
作品名稱 Electrochemical Planarization of Copper-Plated Wafer in Phosphoric Acid
作品名稱（其他語言）
著者 Tsai, Tzu-hsuan; Wu, Y. F.
作品所屬單位 淡江大學化學工程與材料工程學系
出版者 The Electrochemical Society
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公開徵稿
出版型式
出處 The Electrochemical Society 211th Meeting, Chicago, Illinois, USA.
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機構典藏連結 ( http://tkuir.lib.tku.edu.tw:8080/dspace/handle/987654321/70966 )

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