Surface morphology and sub-surface damaged layer of various glasses machined by 193 nm ArF excimer laser
學年 93
學期 2
出版（發表）日期 2005-04-01
作品名稱 Surface morphology and sub-surface damaged layer of various glasses machined by 193 nm ArF excimer laser
作品名稱（其他語言）
著者 Chao, C.L.; Liao, Yunn-shiuan; Chen, Ying-Tung
單位 淡江大學機械與機電工程學系
出版者
著錄名稱、卷期、頁數 SPIE 5715
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期刊性質 國外
收錄於
產學合作
通訊作者
審稿制度 否
國別 USA
公開徵稿
出版型式 ,電子版
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