Surface morphology and recrystallization behavior of amorphous Si after ArF laser irradiation
學年 93
學期 2
出版（發表）日期 2005-04-01
作品名稱 Surface morphology and recrystallization behavior of amorphous Si after ArF laser irradiation
作品名稱（其他語言）
著者 Chao, C.L.; Chen, T.T.; Chang, C.Y.
單位 淡江大學機械與機電工程學系
出版者
著錄名稱、卷期、頁數 SPIE 5713
摘要
關鍵字
語言 en
ISSN
期刊性質 國外
收錄於
產學合作
通訊作者
審稿制度 否
國別 USA
公開徵稿
出版型式 ,電子版
相關連結

機構典藏連結 ( http://tkuir.lib.tku.edu.tw:8080/dspace/handle/987654321/65391 )

機構典藏連結
SDGS 產業創新與基礎設施