| 3D displacement measurement with pico-meter resolution using single heterodyne grating interferometry | |
|---|---|
| 學年 | 96 |
| 學期 | 2 |
| 出版（發表）日期 | 2008-04-01 |
| 作品名稱 | 3D displacement measurement with pico-meter resolution using single heterodyne grating interferometry |
| 作品名稱（其他語言） | |
| 著者 | Hsu, Cheng-chih; Lee, Ju-yi; Wu, C. C.; Shih, H.C. |
| 單位 | 淡江大學機械與機電工程學系 |
| 出版者 | Trans Tech Publications |
| 著錄名稱、卷期、頁數 | Key Engineering Materials 381-382, pp.283-286 |
| 摘要 | |
| 關鍵字 | Diffracted Grating;Heterodyne Interferometry;Pico-Meter Resolution;Precision Metrology;Three-Dimensional |
| 語言 | en |
| ISSN | 1662-9795 |
| 期刊性質 | 國外 |
| 收錄於 | EI |
| 產學合作 | |
| 通訊作者 | |
| 審稿制度 | |
| 國別 | |
| 公開徵稿 | |
| 出版型式 | |
| 相關連結 |
機構典藏連結 ( http://tkuir.lib.tku.edu.tw:8080/dspace/handle/987654321/65256 ) |
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