機械一碩士班 石正宜
學年 90
學期 1
教師姓名 趙崇禮
指導學生姓名 石正宜
班級名稱
論文題名 感應耦合電漿蝕刻ＩＮＧＡＮ／ＧＡＮ特性研究
論文英文題名 A STUDY OF ETCHING CHARACTERISTICS OF INGAN/GAN USING INDUCTIVELY COUPLED PLASMA
論文提出學年 91
論文提出學期 2
備註
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