Binary deposition method using standard CMOS structural layers to fabricate optical gratings and microlenses
學年 87
學期 2
發表日期 1999-06-16
作品名稱 Binary deposition method using standard CMOS structural layers to fabricate optical gratings and microlenses
作品名稱（其他語言）
著者 楊龍杰; Yang, Lung-jieh; Liu, P. C.; Kang, Shung-wen; Duh, W. C.
作品所屬單位 淡江大學機械與機電工程學系
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出處 Proceedings of SPIE-the international society for optical engineering 3740, Yokohama, Japan, pp.438-441
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