A liquid-based gravity-driven etching-stop technique and its application to wafer level cantilever thickness control of AFM probes
學年 95
學期 1
申請日期 2006-08-01
得獎人員 楊龍杰 Yang Lung-jieh
得獎論文名稱 A liquid-based gravity-driven etching-stop technique and its application to wafer level cantilever thickness control of AFM probes
得獎等級 0
所屬類別 0
出版者
研究獎勵類別 2
備註
發表日期 1900-01-01