| Investigation of ICP Etching of CVD Diamond Film | |
|---|---|
| 學年 | 99 |
| 學期 | 1 |
| 申請日期 | 2010-08-01 |
| 得獎人員 | 趙崇禮 Chao Choung-lii |
| 得獎論文名稱 | Investigation of ICP Etching of CVD Diamond Film |
| 得獎等級 | 0 |
| 所屬類別 | 0 |
| 出版者 | Journal of the Chinese Society of Mechanical Engineers |
| 研究獎勵類別 | 5 |
| 備註 | |
| 發表日期 | 2007-04-01 |