| 精密研磨用拋光元件的磨料批覆方法 | |
|---|---|
| 學年 | 95 |
| 學期 | 1 |
| 專利開始日期 | 2006-12-01 |
| 專利結束日期 | 2006-12-01 |
| 作品名稱 | 精密研磨用拋光元件的磨料批覆方法 |
| 作品名稱（其他語言） | Coating process of abrasive element for precision polish |
| 著者 | 莊友絜; Chuang, You-chieh; 陳國裕; 王建智; 蕭思菁; Sino, Sai-jing; 陳文裕; 鄧建中; Teng, Chien-chung; 黃仁烜; Huang, Jen-hsuan; 陳幹男; 陳博正; Chen, Po-cheng; 陳忻 |
| 單位 | 淡江大學化學學系 |
| 著錄名稱、卷期、頁數 | |
| 描述 | 專利類型：發明 專利國別：中華民國 專利公開/公告號：200641983 專利申請號：094117861 國際分類號：H01L-021/304 |
| 摘要 | |
| 關鍵字 | |
| 語言 | zh_TW |
| 相關連結 |
機構典藏連結 ( http://tkuir.lib.tku.edu.tw:8080/dspace/handle/987654321/25865 ) |
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