非矽質的微細加工低溫製程
學年 91
學期 2
出版（發表）日期 2003-07-01
作品名稱 非矽質的微細加工低溫製程
作品名稱（其他語言）
著者 楊龍杰
單位 淡江大學機械與機電工程學系
出版者 新竹市：行政院國家科學委員會精密儀器發展中心
著錄名稱、卷期、頁數 微機電系統技術與應用，頁269-285
摘要
關鍵字
語言 zh_TW
ISBN 9570142650
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