液態感光抗蝕刻光阻之製備及應用 | |
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學年 | 93 |
學期 | 1 |
出版(發表)日期 | 2005-01-01 |
作品名稱 | 液態感光抗蝕刻光阻之製備及應用 |
作品名稱(其他語言) | Preparation and Application of Liquid Type Ething-Resistant Photoresist |
著者 | 鄭廖平 |
單位 | 淡江大學化學工程與材料工程學系 |
描述 | 計畫編號:NSC94-2622-E032-003-CC3 研究期間:200505~200604 研究經費:444,000 |
委託單位 | 行政院國家科學委員會 |
摘要 | |
關鍵字 | |
語言 | |
相關連結 |
機構典藏連結 ( http://tkuir.lib.tku.edu.tw:8080/dspace/handle/987654321/6894 ) |