基於CMOS-MENS之相位式探頭感測器在介尺度三維形貌量測研究
學年 97
學期 1
出版（發表）日期 2009-01-01
作品名稱 基於CMOS-MENS之相位式探頭感測器在介尺度三維形貌量測研究
作品名稱（其他語言） CMOS-MEMS Based Phase-Sensitive Probing Sensor Applied in Meso-Scale 3D Topography
著者 吳乾埼
單位 淡江大學機械與機電工程學系
描述 計畫編號：NSC98-2218-E032-009 研究期間：200909~201007 研究經費：758,000
委託單位 行政院國家科學委員會
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