應用於微處理器之微冷卻器整合研究-微冷卻器之製程技術研究
學年 87
學期 1
出版（發表）日期 1999-01-01
作品名稱 應用於微處理器之微冷卻器整合研究-微冷卻器之製程技術研究
作品名稱（其他語言） The Research on the Semiconductor Processings of Micro-Coolers
著者 楊龍杰
單位 淡江大學機械與機電工程學系
描述 計畫編號：NSC88-2218-E032-002 研究期間：199808~199907 研究經費：583,000
委託單位 行政院國家科學委員會
摘要
關鍵字 單晶矽;微冷卻器;非等向性蝕刻;多孔矽;熱管;熱散;Single crystal silicon;Micro cooler;Anisotropic etching;Porous silicon;Heat pipe;Heat sink
語言
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