微冷卻器之整合研究-子計畫II：微冷卻器之制程技術研究
學年 88
學期 1
出版（發表）日期 2000-01-01
作品名稱 微冷卻器之整合研究-子計畫II：微冷卻器之制程技術研究
作品名稱（其他語言） The Research on the Fabrication of Micro Coolers
著者 楊龍杰
單位 淡江大學機械與機電工程學系
描述 計畫編號：NSC89-2218-E032-002 研究期間：199908~200007 研究經費：859,000
委託單位 行政院國家科學委員會
摘要
關鍵字 微冷卻器;微細加工;矽半導體;現場監控;Microcooler;Micromachining;Silicon semiconductor;In situ monitoring
語言
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