拋光墊平面修整加工研究 | |
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學年 | 89 |
學期 | 1 |
出版(發表)日期 | 2001-01-01 |
作品名稱 | 拋光墊平面修整加工研究 |
作品名稱(其他語言) | Research on Flat Dressing Process of Polishing Pads |
著者 | 劉偉均; 陳炤彰 |
單位 | 淡江大學機械與機電工程研究所 |
描述 | 計畫編號:NSC90-2212-E032-010 研究期間:200108~200207 研究經費:553,000 |
委託單位 | 行政院國家科學委員會 |
摘要 | |
關鍵字 | 拋光墊;平面修整;Polishing pad;Flat dressing process |
語言 | |
相關連結 |
機構典藏連結 ( http://tkuir.lib.tku.edu.tw:8080/dspace/handle/987654321/7272 ) |