教師資料查詢 | 類別: 研究報告 | 教師: 陳炤彰CHEN CHAO-CHANG (瀏覽個人網頁)

標題:拋光墊平面修整加工研究
學年89
學期1
出版(發表)日期2001/01/01
作品名稱拋光墊平面修整加工研究
作品名稱(其他語言)Research on Flat Dressing Process of Polishing Pads
著者劉偉均; 陳炤彰
單位淡江大學機械與機電工程研究所
描述計畫編號:NSC90-2212-E032-010;研究期間:200108~200207;研究經費:553,000
委託單位行政院國家科學委員會
摘要
關鍵字拋光墊;平面修整;Polishing pad;Flat dressing process
語言
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