教師資料查詢 | 類別: 研究報告 | 教師: 陳炤彰CHEN CHAO-CHANG (瀏覽個人網頁)

標題:平面研光加工路徑與應用研究
學年88
學期1
出版(發表)日期2000/01/01
作品名稱平面研光加工路徑與應用研究
作品名稱(其他語言)Research of Flat Lapping Paths and Applications
著者劉偉均; 陳炤彰
單位淡江大學機械與機電工程學系
描述計畫編號:NSC89-2212-E032-005;研究期間:199908~200007;研究經費:511,000
委託單位行政院國家科學委員會
摘要
關鍵字研光;研光機;碎形路徑;化學機械拋光;Lapping;Lapping machine;Fractal toolpath;Chemical mechanical polishing (CMP)
語言
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