期刊論文
| 學年 | 95 |
|---|---|
| 學期 | 2 |
| 出版（發表）日期 | 2007-04-01 |
| 作品名稱 | 電化學技術在半導體銅製程中的應用 |
| 作品名稱（其他語言） | |
| 著者 | Tsai, Tzu-hsuan; Yen, S. C. |
| 單位 | 淡江大學化學工程與材料工程學系 |
| 出版者 | |
| 著錄名稱、卷期、頁數 | 化工技術 169，頁95-111 |
| 摘要 | |
| 關鍵字 | |
| 語言 | zh_TW |
| ISSN | |
| 期刊性質 | 國內 |
| 收錄於 | |
| 產學合作 | |
| 通訊作者 | |
| 審稿制度 | |
| 國別 | |
| 公開徵稿 | |
| 出版型式 | |
| 相關連結 |
機構典藏連結 ( http://tkuir.lib.tku.edu.tw:8080/dspace/handle/987654321/71063 ) |