會議論文
| 學年 | 95 |
|---|---|
| 學期 | 2 |
| 發表日期 | 2007-05-11 |
| 作品名稱 | Electrochemical Planarization of Copper-Plated Wafer in Phosphoric Acid |
| 作品名稱（其他語言） | |
| 著者 | Tsai, Tzu-hsuan; Wu, Y. F. |
| 作品所屬單位 | 淡江大學化學工程與材料工程學系 |
| 出版者 | The Electrochemical Society |
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| 會議性質 | |
| 校內研討會地點 | |
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| 公開徵稿 | |
| 出版型式 | |
| 出處 | The Electrochemical Society 211th Meeting, Chicago, Illinois, USA. |
| 相關連結 |
機構典藏連結 ( http://tkuir.lib.tku.edu.tw:8080/dspace/handle/987654321/70966 ) |