教師資料查詢 | 類別: 專利 | 教師: 趙崇禮 CHAO CHOUNG-LII (瀏覽個人網頁)

標題:繞射光學元件繞射光學元件陣列,及其製作方法
學年102
學期2
專利開始日期2014/03/01
專利結束日期2014/03/01
作品名稱繞射光學元件繞射光學元件陣列,及其製作方法
作品名稱(其他語言)DIFFRACTIVE OPTICAL ELEMENTS, DIFFRACTIVE OPTICAL ELEMENTS ARRAY AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
著者趙崇禮; 馬廣仁; 周文成
單位淡江大學機械與機電工程學系
著錄名稱、卷期、頁數
描述專利類型:發明
專利國別:中華民國
專利公開/公告號:201102682/I431334
專利申請號:098123300
國際分類號:G02B-005/18(2006.01)
摘要本發明提供一種繞射光學元件及繞射光學元件陣列的製作方法,以及經由上述方法所製作之繞射光學元件及元件陣列。繞射光學元件的製作方法,包括提供基材,基材具有第一硬度與第一厚度,並於基材上形成光阻層,光阻層具有均勻的第一高度,接著提供表面形成有繞射光學元件公圖案的模具,在公圖案的外部周圍形成有複數個支腳,之後以模具對光阻層進行壓印,藉此在光阻層的表面形成對應於該公圖案的母圖案,接著硬化光阻層然後移除模具,再蝕刻光阻層與基材,藉此形成繞射光學元件的公圖案於基材的上表面。
關鍵字
語言中文
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