教師資料查詢 | 類別: 期刊論文 | 教師: 楊龍杰 Yang Lung-jieh (瀏覽個人網頁)

標題:固態加速度計簡介
學年84
學期2
出版(發表)日期1996/04/01
作品名稱固態加速度計簡介
作品名稱(其他語言)
著者張培仁; 呂學士; 劉深淵; 楊龍杰
單位淡江大學機械與機電工程學系
出版者機械月刊雜誌社
著錄名稱、卷期、頁數電子月刊2(4)=9頁59-62
摘要所謂「固態加速度計」,舉凡以非傳統機械加工技術製作,尺寸在數毫米之內,而運作機制已超越機械專業範疇者皆是。因其尺寸遠小於傳統加速度計,或稱之「微型加速度計」。另因以矽晶圓製作該微型加速度計為時下大宗主流,故又稱「半導體加速度計」。在微機電系統之數種主要感測器中,固態加速度計以其與機械、力學之深厚淵源,成為許多機械專長背景人士加入微機電領域之頭一項研究課題。有鑑於固態感測器之微細加工技術大同小異,本文將偏重於介紹加速度計之運作原理與設計要旨,兼述國內在此方面可能之發展利機。
關鍵字
語言中文
ISSN1814-912X
期刊性質
收錄於
產學合作
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