半導體微型感測器與非破壞性檢測
學年 85
學期 2
出版（發表）日期 1997-07-01
作品名稱 半導體微型感測器與非破壞性檢測
作品名稱（其他語言）
著者 楊龍杰; 張培仁
單位 淡江大學機械與機電工程學系
出版者 機械月刊雜誌社
著錄名稱、卷期、頁數 電子月刊3(7)=24，頁145-151
摘要 小而美的微機電系統(Micro-Electro-Mechanical Systems)技術，近年來已廣受注目。其技術略分為感測器(sensor)與制動器(actuator)二大部分，而感測器之發展又早於制動器。事實上，在1980年代後期提出微機電系統、或微系統技術(Micro-System Technology) 等名稱之前，許多半導體感測器與微細加工之先期研究，均集中列入微電子的範疇; 此可由其文獻之出處面見一斑。本文即基於尋求跨技術互動與應用之動機，以半導體微型加速度計之製作為肇始，發現其可應用於非破壞性檢測之暫態彈性波法，使檢測之結果更為直接與準確。最後並回過頭來以非破壞性檢測之超音波法，監控矽質薄膜之厚度，提供體型微細加工另一種增益精度的途徑。
關鍵字
語言 zh_TW
ISSN 1814-912X
期刊性質
收錄於
產學合作
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