教師資料查詢 | 類別: 期刊論文 | 教師: 楊龍杰 Yang Lung-jieh (瀏覽個人網頁)

標題:半導體微型感測器與非破壞性檢測
學年85
學期2
出版(發表)日期1997/07/01
作品名稱半導體微型感測器與非破壞性檢測
作品名稱(其他語言)
著者楊龍杰; 張培仁
單位淡江大學機械與機電工程學系
出版者機械月刊雜誌社
著錄名稱、卷期、頁數電子月刊3(7)=24頁145-151
摘要小而美的微機電系統(Micro-Electro-Mechanical Systems)技術,近年來已廣受注目。其技術略分為感測器(sensor)與制動器(actuator)二大部分,而感測器之發展又早於制動器。事實上,在1980年代後期提出微機電系統、或微系統技術(Micro-System Technology) 等名稱之前,許多半導體感測器與微細加工之先期研究,均集中列入微電子的範疇; 此可由其文獻之出處面見一斑。本文即基於尋求跨技術互動與應用之動機,以半導體微型加速度計之製作為肇始,發現其可應用於非破壞性檢測之暫態彈性波法,使檢測之結果更為直接與準確。最後並回過頭來以非破壞性檢測之超音波法,監控矽質薄膜之厚度,提供體型微細加工另一種增益精度的途徑。
關鍵字
語言中文
ISSN1814-912X
期刊性質
收錄於
產學合作
通訊作者
審稿制度
國別
公開徵稿
出版型式
相關連結
Google+ 推薦功能,讓全世界都能看到您的推薦!