平面研光加工分析與矽晶片CMP應用 | |
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學年 | 90 |
學期 | 1 |
出版(發表)日期 | 2001-08-15 |
作品名稱 | 平面研光加工分析與矽晶片CMP應用 |
作品名稱(其他語言) | |
著者 | 陳炤彰; Chen, Chao-chang A. |
單位 | 淡江大學機械與機電工程學系 |
出版者 | 中華民國磨粒加工學會 |
著錄名稱、卷期、頁數 | 磨粒會訊 24,頁10-33 |
摘要 | |
關鍵字 | |
語言 | zh_TW |
ISSN | |
期刊性質 | |
收錄於 | |
產學合作 | |
通訊作者 | |
審稿制度 | |
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公開徵稿 | |
出版型式 | |
相關連結 |
機構典藏連結 ( http://tkuir.lib.tku.edu.tw:8080/dspace/handle/987654321/45762 ) |