教師資料查詢 | 類別: 期刊論文 | 教師: 陳炤彰 CHEN CHAO-CHANG (瀏覽個人網頁)

標題:平面研光加工分析與矽晶片CMP應用
學年90
學期1
出版(發表)日期2001/08/15
作品名稱平面研光加工分析與矽晶片CMP應用
作品名稱(其他語言)
著者陳炤彰; Chen, Chao-chang A.
單位淡江大學機械與機電工程學系
出版者中華民國磨粒加工學會
著錄名稱、卷期、頁數磨粒會訊 24頁10-33
摘要
關鍵字
語言中文
ISSN
期刊性質
收錄於
產學合作
通訊作者
審稿制度
國別
公開徵稿
出版型式
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