平面研光加工分析與矽晶片CMP應用
學年 90
學期 1
出版(發表)日期 2001-08-15
作品名稱 平面研光加工分析與矽晶片CMP應用
作品名稱(其他語言)
著者 陳炤彰; Chen, Chao-chang A.
單位 淡江大學機械與機電工程學系
出版者 中華民國磨粒加工學會
著錄名稱、卷期、頁數 磨粒會訊 24,頁10-33
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產學合作
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