The SOI-like method of reducing the die size of bulk-micromachined sensors | |
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學年 | 90 |
學期 | 1 |
出版(發表)日期 | 2002-01-01 |
作品名稱 | The SOI-like method of reducing the die size of bulk-micromachined sensors |
作品名稱(其他語言) | |
著者 | 楊龍杰; Yang, Lung-jieh; 康尚文; Kang, Shung-Wen |
單位 | 淡江大學機械與機電工程學系 |
出版者 | Scientific Publishing Division Myu |
著錄名稱、卷期、頁數 | Sensors and materials 14(1), pp.23-34 |
摘要 | |
關鍵字 | |
語言 | en |
ISSN | 0914-4935 |
期刊性質 | |
收錄於 | |
產學合作 | |
通訊作者 | |
審稿制度 | |
國別 | |
公開徵稿 | |
出版型式 | |
相關連結 |
機構典藏連結 ( http://tkuir.lib.tku.edu.tw:8080/dspace/handle/987654321/45757 ) |