教師資料查詢 | 類別: 會議論文 | 教師: 葉和明 Yeh Ho-ming (瀏覽個人網頁)

標題:Corrosion Action between Cu and Ta/TaN Barrier during CMP
學年93
學期1
發表日期2004/10/07
作品名稱Corrosion Action between Cu and Ta/TaN Barrier during CMP
作品名稱(其他語言)
著者Tsai, Shau-wei; Yeh, Ho-ming
作品所屬單位淡江大學化學工程與材料工程學系
出版者The Electrochemical Society
會議名稱
會議地點
摘要
關鍵字
語言
收錄於
會議性質
校內研討會地點
研討會時間
通訊作者
國別
公開徵稿
出版型式
出處The Electrochemical Society 206th Meeting, Hawaii, HI, USA
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