教師資料查詢 | 類別: 會議論文 | 教師: 林諭男 I-nan Lin (瀏覽個人網頁)

標題:以MPECVD法製作三種不同大小尺寸的鑽石薄膜特性研究
學年95
學期1
發表日期2006/11/24
作品名稱以MPECVD法製作三種不同大小尺寸的鑽石薄膜特性研究
作品名稱(其他語言)
著者陳皇欽; 林諭男; 鄭秀鳳
作品所屬單位淡江大學物理學系
出版者臺南市成功大學
會議名稱2006年中國材料科學學會年會
會議地點臺南市, 臺灣
摘要本實驗利用微波電漿輔助化學氣相沈積法(MPECVD)成長3種不同尺寸(Grain size)的鑽石薄膜,並利用SEM來探討表面顆粒大小的差異,以Raman光譜來探討鑽石薄膜顆粒結晶大小的差異性,以解釋薄膜場發射特性的不同;分別製作約500-600nm、100-200nm和約30nm的鑽石薄膜,發現大小約500-600nm的鑽石薄膜顆粒結晶程度最好,但是以場發射的特性可以發現約30nm大小的鑽石薄膜有較好的電流密度,其次為100-200nm大小的鑽石薄膜,而擁有最好結晶性的500-600nm的鑽石薄膜卻是這三種薄膜裡場發射的電流密度最差的。
關鍵字
語言中文
收錄於
會議性質國內
校內研討會地點
研討會時間20061124~20061125
通訊作者
國別中華民國
公開徵稿Y
出版型式紙本
出處2006年中國材料科學學會年會論文集4頁
相關連結
Google+ 推薦功能,讓全世界都能看到您的推薦!