教師資料查詢 | 類別: 會議論文 | 教師: 楊龍杰 Yang Lung-jieh (瀏覽個人網頁)

標題:智慧型微冷卻系統之感測與驅動技術開發(III)
學年95
學期1
發表日期2006/10/27
作品名稱智慧型微冷卻系統之感測與驅動技術開發(III)
作品名稱(其他語言)
著者楊龍杰; 王信雄; 許竣為; 楊伯強
作品所屬單位淡江大學機械與機電工程學系
出版者
會議名稱2006熱流暨能源學門成果發表暨規劃會議
會議地點臺北市, 臺灣
摘要本第三年計畫先完成CMOS共用壓力感測陣列晶片之測試,再嘗試開發非平面(如微圓管)之微管道感測與驅動電極之製程,改善微流道感測驅動的效率。另外研究在微流道內表面沾濕特性之控制,確認與表面特性相關之處理技術,在微冷卻系統內之液體驅動課題上變得重要。最後將本三年期開發之微機電感測與驅動技術,應用於一增益迴路式微熱管的導熱性能。;The main object of this project (the third year) is to explore a CMOS pressure-sensing platform, the process of a novel nonplanar electrode embedded in a circular microchannel, the detailed mechanism of a EHD micropump. We also applied all the available MEMS techniques, explores in this project, to propose a modified design for a MLHP for performance enhancing.
關鍵字金氧半標準製程;非平面電極;電動流力驅動;迴路式微熱管;CMOS;Nonplanar electrode;EHD pumping;MLHP
語言中文
收錄於
會議性質國內
校內研討會地點
研討會時間20061027~20061027
通訊作者
國別中華民國
公開徵稿Y
出版型式紙本
出處2006熱流暨能源學門成果發表暨規劃會議論文集4頁
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