教師資料查詢 | 類別: 會議論文 | 教師: 康尚文 KANG SHUNG-WEN (瀏覽個人網頁)

標題:ANSYS應用於微型壓力感測器之性能評估
學年89
學期1
發表日期2000/11/13
作品名稱ANSYS應用於微型壓力感測器之性能評估
作品名稱(其他語言)The Application for Estimated of Micro Pressure Sensor in ANSYS
著者鄭金郎; 楊龍杰; 康尚文; 曾信傑; 郭柏甫; 黃志豪
作品所屬單位淡江大學機械與機電工程學系
出版者
會議名稱2000年第六屆台灣地區ANSYS研討會=2000 ANSYS Taiwan User's Conference
會議地點臺北市, 臺灣
摘要本文利用有限元素分析軟體ANSYS來分析一新式微型壓力感測器之壓力薄膜受力情形。依據其薄膜表面佈植之壓電阻受力形變及應力數值,直接推導出壓力感測器之理論輸出電壓靈敏度及非線性度。其結果可作為感測器製作前之性能評估。
關鍵字微壓力感測器;有限元素分析;壓電阻性;整體微加工;靈敏度;惠斯登電橋;Micro Pressure Sensor;Finite Element Analysis;Piezoresistivity;Bulk Micromaching;Sensitivity;Wheatstone Bridge
語言中文
收錄於
會議性質國內
校內研討會地點
研討會時間20001113~20001114
通訊作者
國別中華民國
公開徵稿Y
出版型式紙本
出處2000年第六屆台灣地區ANSYS論文集=2000 ANSYS Taiwan User's Conference頁311-318
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