Investigation of material removal mechanisms involved in ICP etching of InGaN/GaN
學年 92
學期 2
發表日期 2004-05-30
作品名稱 Investigation of material removal mechanisms involved in ICP etching of InGaN/GaN
作品名稱(其他語言)
著者 趙崇禮
作品所屬單位 淡江大學機械與機電工程學系
出版者
會議名稱
會議地點
摘要
關鍵字
語言
收錄於
會議性質 國際
校內研討會地點
研討會時間 20040530~20040603
通訊作者
國別
公開徵稿
出版型式
出處 第四屆歐洲精密工程及奈米工程學會國際研討會=4th euspen International Conference, Glasgow, United Kingdom
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