教師資料查詢 | 類別: 會議論文 | 教師: 趙崇禮 CHAO CHOUNG-LII (瀏覽個人網頁)

標題:Surface Integrity of Precision Ground Silicon Wafer
學年93
學期2
發表日期2005/05/26
作品名稱Surface Integrity of Precision Ground Silicon Wafer
作品名稱(其他語言)
著者趙崇禮
作品所屬單位淡江大學機械與機電工程學系
出版者工研院
會議名稱
會議地點
摘要
關鍵字
語言
收錄於
會議性質國內
校內研討會地點
研討會時間20050526~20050526
通訊作者
國別
公開徵稿
出版型式
出處Taiwan-Japan Joint Symposium on nano-Precision Manufacturing
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